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无尘室污染来源及控制方法
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室内的空气污染源及其传播途径
室内工作人员

人员发尘是无尘室内空气污染源的较主要来源，尤其人动作时的发尘量相当复杂。
根据工艺性质、人的动作的多少和强弱的不同，这个倍数是不同的，可以分为较低（劳动强度较低或坐着操作，几乎很少起来活动）和较高（劳动强度比一般水平高或活动比较频繁）两类。人体发尘量还与服装的选材、设计与无尘清洗等有很大的关系。
2设备及工艺发尘

设备的产尘以转动设备尤为**，电动机、齿轮转动部件、伺服机械部件、传动部件、液压和气动启动器开关或人工操作的设备，都会由于移动（转动）着的表面之间的摩擦而产生微粒。日本及西方工业国家对无尘室常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的实验研究。对无尘室的机械、电器污染源给出了一些尘粒散发量的可参考数值，为无尘室通风设计提供了计算依据。
3与无尘室相邻的污染区域


与无尘室周边相邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区域，由于人员、材料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的，特别是无尘室在外门的附近区域。因此，关键工艺区域宜远离外门。
4未经过滤的送风


在正常情况下，新建、改建无尘室或末级过滤器更换后，按规范要求进行了严格的验收检测，则高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏，都应被查出并予以处理。此时，送风系统不存在未经过滤而进入洁净室的空气。值得防范和注意的是，在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器纸芯，或是高效过滤器支撑框架因振动、或是密封胶垫老化、变质而致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙，从而泄漏未经过滤的空气，污染无尘室，这也是日常监测工作关注的重点。
5原材料、包装等


对进入无尘室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法，以及进入无尘室的程序等，都应该按照无尘室运行管理的相关规范执行。但即使严格按照相关规范和程序操作，仍然难以完全杜绝粘附在原材料、容器、包装，特别是一些难以彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入无尘室。它们构成了生产过程中的又一个重要污染源，而在这一点上往往*被忽略。出现问题时，通常把注意力放在寻找空调净化系统的缺陷上。


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针对污染源的控制方法
1控制人员散发的污染

人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。控制人员散发的污染，首先是控制进入无尘室的人员数量。与生产、科研无直接关系，未经无尘室管理规范培训的人员，一律不得进入无尘室。进入的人员要遵循无尘室管理规范，整齐穿着无尘服，戴无尘手套、口罩、头罩，穿无尘鞋，经洁净通道进入。对进出无尘室的人员要严格管理。除尽可能降低人员散发的污染物外，空调净化送风的气流也是有效稀释、疏导并排出人员散发的污染物的重要手段。例如人员行走的通道是散发污染物的主要位置，在该处设置回、排风口，使其处于室内下风向，以尽可能减少人员所散发的污染物扩散到无尘室的其它区域。又如关键工序部位设置在无尘室中非操作人员不易到达之处，以减少额外的人员污染。

控制工艺设备及工艺的产尘


无尘室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡，并辅以排风，形成局部范围相对于洁净室的负压，以限制污染物向无尘室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。

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维持不同级别相邻无尘室间的压差

防止从相邻的洁净度较低区域向无尘室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为10Pa左右。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别无尘室流向低级别无尘室、由低级别无尘室流向走廊和服务区，再流向室外。这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别无尘室，低级别无尘室向高级别无尘室传播空气中的悬浮污染物。
4无尘室送风的过滤


无尘室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或**高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、**高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但末级过滤器如有破损或过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此无尘室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。高效过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。
5进入无尘室的材料与部件的清洁


无尘室的产品和原材料、产品的容器和包装材料都要使用不产生污染的材料。这些材料的生产制造环境至少要与使用环境的无尘级别相同或更高，必要时可进行对应级别的无尘清洗。例如，屏蔽袋、tray盘等，宜维持一定的洁净级别，以减少使用环境的污染负荷。进入无尘室的各种零部件应是清洁的，其包装也要符合要求。在无尘室外拆包装时要保证这些零部件不会被污染。不符合无尘室使用要求的零部件要经过清洁后方可进入无尘室。
无尘室是一项综合性技术的反映，在维护和管理控制中，需要进行多方面考虑。无尘室使用前的检测是正常使用的基本保证，使用中的维护和运行管理更是对净化环境的维持。通过技术手段的运用、人员的管理、设备的状况检测、无尘室维护，可以提升无尘室效果。
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